四探针电阻率测试仪检测条件

　　本规程适用于新生产、使用中和修理后的接触式测量范围在0.001～103Ω·cm的电阻率测试仪的检定。对某些多功能的测试或只能测方块电阻的测试仪也同样适用，方块电阻的测量范围在0.01～104Ω/□。本规程不适用于二探针、三探针和六探针以及方形探头电阻率测试仪。

　　四探针电阻率测试仪概述

　　四探针电阻率测试仪是用来测量半导体材料及工艺硅片的电阻率，或扩散层及外延层方块电阻的测量仪器。它主要由电气部分和探头部分组成，电气部分一般包括稳流源、数字电压表或电位差计、换向开关等仪器。探头部分一般包括探针架、探针头和样品台。

　　1-稳流源;2-换向开关;3-标准电阻;4-探针接线;5-无热电势开关;6-数字电压表;7-被测样品

　　1-微型计算机部分;2-电气箱部分;3-手动升降机构、探针架、探针头及样品台部分

　　四探针电阻率测试仪检定环境条件

　　四探针电阻率测试仪应在恒温清洁室内进行，检定具体要求见表3。检定前，仪器和所用的标准仪器设备应在恒温室内旋转12h以上。

　　*在检定过程中发现有静电感应或泄漏电流的现象，则应采取相应的屏蔽或接地措施消除。