导体电阻率测试仪是根据四探针原理，适合半导体器材厂，材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率，方块电阻(簿层电阻)，也可以用作测量金属薄层电阻，经过对用户、半导体厂测试的调查，根据美国ASTM标准的规定，在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破，半导体电阻率测试仪更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要，成为普及型的电阻率测试仪，具有测量精度高，稳定性好，输入阻抗高，使用方便、价格低廉等特点。

　　导体电阻率测试仪的主要指标如下：

　　1.测量范围：电阻率10-3—103Ω-cm，分辩率为 10-4Ω-cm ，可扩展到105Ω-cm

　　方块电阻10-2—104Ω/□，分辩率为10-3Ω/□，可扩展到106Ω/□

　　薄层金属电阻10-4—105Ω，分辩率为10-4Ω

　　2.可测半导体材料尺寸：直径Φ15—Φ125mm; 长度：150mm(可扩展500mm)

　　3.测量方式：轴向、断面均可

　　4.数字电压表：(1)量程：20mV(分辩率：10μV)、200mV、2V

　　(2)测量误差：±0.3%读数±1字

　　(3)输入阻抗：大于108Ω

　　(4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示

　　0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示

　　5. 恒流源：由交流供电，具有良好的防泄漏隔离功能

　　(1)直流电流：0—100mA连续可调

　　(2)量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

　　(3)分辩率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

　　(4)电流误差：±0.3%读数±2字

　　6.电性能模拟考核误差：<±0.3%符合ASTM指标

　　7 .测试探头：(1)探针机械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指标