于半导体材料的电阻率，一般采用四探针、三探针和扩展电阻。

　　电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，度高，对样品的形状无严格要求。

　　常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。

　　一般目前的四探针电阻率(电导率)测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。

　　四探针法通常用来测量半导体的电阻率。四探针法测量电阻率有个非常大的优点，它不需要校准;有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法校准。

　　与四探针法相比，传统的二探针法更方便些，因为它只需要操作两个探针，但是处理二探针法得到的数据却很复杂。如图一，电阻两端有两个探针接触，每个接触点既测量电阻两端的电流值，也测量了电阻两端的电压值。我们希望确定所测量的电阻器的电阻值，总电阻值:

　　RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;

　　其中RW是导线电阻，RC是接触电阻，RDUT是所要测量的电阻器的电阻，显然用这种方法不能确定RDUT的值。矫正的办法就是使用四点接触法，即四探针法。如图二，电流的路径与图一中相同，但是测量电压使用的是另外两个接触点。尽管电压计测量的电压也包含了导线电压和接触电压，但由于电压计的内阻很大，通过电压计的电流非常小，因此，导线电压与接触电压可以忽略不计，测量的电压值基本上等于电阻器两端的电压值。

　　通过采用四探针法取代二探针法，尽管电流所走的路径是一样的，但由于消除掉了寄生压降，使得测量变得了。四探针法在Lord Kelvin使用之后，变得十分普及，命名为四探针法。