四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）。
四探针测试仪由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
四探针电阻测试仪的技术指标：
1.方块电阻范围：10-4～2×103Ω/□
2.电阻率范围：10-5～2×104Ω-cm
3.测试电流范围：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA
4.电流精度：±0.2%读数
5.电阻精度：≤0.3%
6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式: 普通单电测量
