表面体积电阻率测试仪既可测量高电阻，又可测微电流。采用了新型集成电路以及我单位的技术。测量精度达到3‰。同时仪器体积小、重量轻、本仪器具有精度高、显示迅速、性好稳定、读数方便等优点。
表面体积电阻率测试仪的工作原理：
根据欧姆定律，被测电阻Rx等于施加电压V除以通过的电流I。传统的高阻计的工作原理是测量电压V固定，通过测量流过取样电阻的电流I来得到电阻值。从欧姆定律可以看出，由于电流I是与电阻成反比，而不是成正比，所以电阻的显示值是非线性的，即电阻无穷大时，电流为零，即表头的零位处是∞，其附近的刻度非常密，分辨率很低。整个刻度是非线性的。又由于测量不同的电阻时，其电压V也会有些变化，所以普通的高阻计是精度差、分辨率低。
本仪器是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I，通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算，然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值，即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化，其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流Ｉ的变而变，所以，即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大，其测量精度很高(0)，从理论上讲其误差可以做到零，而实际误差可以做到千分之几或万分之几。
为什么在测量同一物体时用不同的电阻量程有不同的读数？
这是因为：在使用电阻率测试仪时为防止过电压损坏仪器，如果出现过量程时仪器内保护电路开始工作，将测试电压降下来以保护机内放大器。在不同的电压下测量同一物体会 有不同的结果。而且当测量电阻时若读数小于199，既只为三位数且*位数为1 时，其准确度要下降。所以在使用电阻率测试仪时当*次读数从1 变为某一读数时，不应 再往更高的量程扭开关以防对仪器造成过大的电流冲击。在实际使用时，即读数位 数多的比读数位数少的准确度高。
