粉末方阻测试仪主要由主机、测试架及四探针头组成本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。

　　粉末方阻测试仪所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;自动转换量程;测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长;测试结果由数字表头直接显示。

　　粉末方阻测试仪可测量半导体材料硅锗棒、块、片、导电薄膜等。测量方式：平面测量。电压表采用双数字电压表，可同时观察电流、电压变化。

　　粉末方阻测试仪的恒流源：

　　A.电流输出：直流电流0.003～100 mA连续可调，有交流电源供给

　　B.量程：10uA，100uA，1 mA，10 mA，100 mA五档

　　C.恒流源精度：各档均≤±0.05%

　　粉末方阻测试仪的测量系统

　　KDY测量系统设计语言：VC++，可对四探针、两探针电阻率测量数据进行处理并修正测量数据，特定数据存储格式，显示变化曲线。

　　兼容性：适用于通用电脑，支持Windows XP。

　　粉末方阻测试仪的四探针头介绍：

　　A.探头间距1.59㎜

　　B.探针机械游率：±0.3%

　　C.探针直径0.8㎜

　　D.探针材料：碳化钨，探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109欧姆。

　　测量硅、锗单晶(棒料、晶片)、定向结晶多晶硅的电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层以及导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻测量。

　　探针间距1.00mm的探针头适合测量直径小于50mm的的直径单晶片。探针间距1.59mm的探针头相对精度高，在SEMI标准中为仲裁探针头，适合测量直径大于50mm的的大直径单晶片，因为探针直径较粗更加耐磨且不易断针，所以尤其适合测量硅、锗单晶棒、块。

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