半导体电阻率测试仪

半导体电阻率测试仪操作手册

功能描述Description：

• 四探针组合双电测量方法
• 液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.
• 集成电路系统、恒流输出.
• 选配：PC软件进行数据管理和处理.
• 提供中文或英文两种语言操作界面选择

• 参照标准：

  1.硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）.

  2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

  3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

  4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

  双电组合测试方法：

  利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，适用于斜置式四探针对于微区的测试

• 半导体电阻率测试仪操作手册

• 规格型号/ model	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
  1.方块电阻	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
  2.电阻率	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
  3.测试电流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
  4.电流精度	±0.1%	±0.2%	±0.2%	±0.3%	±0.3%	±0.3%  accuracy
  5.电阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5% accuracy
  6.显示读数	屏液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
  7.测试方式	双电测量
  8.电源	输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W
  9.误差	≤3%（标准样片结果）
  10.选购功能	选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻
  11.测试探头t	探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针