硅片四探针电导率测试仪操作方法

硅片四探针电导率测试仪操作方法

 电阻率所针对的对象是导电或电阻材料，一般是通过测定特定形状的材料电阻

值后计算得出。对于功能器件一般只测量其电阻值。而环境（温度、湿度、气氛）

或材料状态对电阻或电阻率的影响测量则一般是将材料或器件放于特定的环境之

中，通过改变环境参数测定电阻或电阻率的变化。上述所有操作归结为一点，即电

阻的测量。由于目前还没有不使用电而间接测量电阻的方法，因此电阻与其它

物理参数测量相比的zui突出特点是必须将被测材料或器件连接在电路之中，电路之

中的导线、导线接头或器件触点接触电阻、测量仪表的内阻以及与被测电阻间的连

接关系，阻值比例等多种因素都会对影响测量结果的度。在许多情况下，测量

误差是不可忽略的。

硅片四探针电导率测试仪操作方法

1.方块电阻范围：10^-3～2×10³Ω/□

2.电阻率范围：10^-4～2×10⁴Ω-cm

3.测试电流范围：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.电流精度：±0.3%读数

5.电阻精度：≤0.5%

6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率

7.测试方式: 普通单电测量

8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）

10.选购功能: 选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台

11.测试探头：   探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针

选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.