四点探针测试仪

FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
FT-330 Series common four probe resistance ratio test instrument

一.    描述Description：
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，提供通讯接口，PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.

二.四点探针测试仪参照标准standard：
硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

三.适用范围Applicable scope：
适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用AD芯片控制，恒流输出，选配：PC软件，保存和打印数据，生成报表
用于：覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试等相关产品

四.四点探针测试仪型号及参数Models and technical parameters
规格型model    FT-331    FT-332    FT-333    FT-334    FT-335    FT-336
1.方块电阻范围Sheet resistance     10-5～2×105Ω/□    10-4～2×105Ω/□    10-3～2×105Ω/□    10-3～2×104Ω/□    10-2～2×105Ω/□    10-2～2×104Ω/□
2.电阻率范围Resistivity     10-6～2×106Ω-cm    10-5～2×106Ω-cm    10-4～2×106Ω-cm    10-4～2×105Ω-cm    10-3～2×106Ω-cm    10-3～2×105Ω-cm
测试电流范围
Test current     0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    10μA，100µA，1mA，10mA，
100mA    0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.电流精度 Current accura    ±0.1%     ±0.2%     ±0.2%     ±0.3%     ±0.3%     ±0.3% 
5.电阻精度Resistance     ≤0.3%    ≤0.3%    ≤0.3%    ≤0.5%    ≤0.5%    ≤0.5%
6.显示读数display    液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式test mode    普通单电测量
8.工作电源power    输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W 
9.误差errors    ≤4%（标准样片结果 Standard Sample results）
10.选购功能choose to buy    选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻

11.测试探头Test probe    探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球

温馨提示：半导体材料测量，我们提供四探针法，低阻，高阻，双电组合法，普通单电法，以及高温电阻率测试仪系列，欢迎和我们保持联系---瑞柯仪器